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1、高剛性設(shè)計(jì)確保真空度及長時(shí)間穩(wěn)定性；

 2、快速閃抽能力 10Pa ≤ 10s； 

3、快慢抽真空真空壓力曲線多段可調(diào)； 

4、一體成型機(jī)構(gòu)，確保設(shè)備工作穩(wěn)定性 ；

5、多重檢測，確保精度、潔凈度及穩(wěn)定性 ；

6、前置過濾器+干泵避免油氣 污染腔室；